Mesures acoustiques du mouillage sur structures modèles type ST

Christophe Virgilio (1, 2, 3) , Julien Carlier (1, 2, 3) , Malika Toubal (1, 3) , V. Thomy (3, 4) , Pierre Campistron (1, 2, 3) , Bertrand Nongaillard (1, 2, 3) , Lucile Broussous , Philippe Garnier

1 IEMN-DOAE - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 BIOMEMS - IEMN - Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Matériaux; Acoustique [physics.class-ph]

Christophe Virgilio, Julien Carlier, Malika Toubal, V. Thomy, Pierre Campistron, et al.. Mesures acoustiques du mouillage sur structures modèles type ST. [Contrat] Laboratoire commun STMicroelectronics-IEMN T3. 2016. ⟨hal-03572287⟩