Ex-situ sputtering growth and wet etching of lead-ree piezoelectric thin film dedicated for composite pMUT applications

Ahmad Hamieh (1, 2, 3) , Freddy Ponchel (1, 2, 3) , Denis Remiens (1, 2, 3)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
3 IEMN-DOAE - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Matériaux; Acoustique [physics.class-ph]

Ahmad Hamieh, Freddy Ponchel, Denis Remiens. Ex-situ sputtering growth and wet etching of lead-ree piezoelectric thin film dedicated for composite pMUT applications. 17th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators, IWPMA 2020, Sep 2020, Honnover, Germany. ⟨hal-03582674⟩