Development of SAW-IDT MEMS Sensors for characterization of superficial residual stresses gradient - Université Polytechnique des Hauts-de-France Accéder directement au contenu
Poster Année : 2014

Development of SAW-IDT MEMS Sensors for characterization of superficial residual stresses gradient

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Frédéric Pruvost  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://uphf.hal.science/hal-03675937

Soumis le : lundi 23 mai 2022-14:52:30

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03675937 , version 1 (23-05-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03675937 , version 1

Citer

Marc Duquennoy, Mohammadi Ouaftouh, Julien Deboucq, J.E. Lefebvre, Frédéric Jenot, et al.. Development of SAW-IDT MEMS Sensors for characterization of superficial residual stresses gradient. Symposium on Piezoelectric Micro and Nano Structures and their Applications, Sep 2014, Blois, France. ⟨hal-03675937⟩

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