Nano-caractérisation par les modes électriques de l'AFM : du matériau au composant

Louis Thomas (1, 2) , S. Godey (1, 2) , D. Deresmes (1, 2) , Maxime Berthe (2, 1)

1 PCMP - IEMN - Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN
2 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Mots clés: AFM - Atomic force microscopy; AFM conducteur; AFM en mode Kelvin; Electrostatic force microscopy

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Physique [physics]

Louis Thomas, S. Godey, D. Deresmes, Maxime Berthe. Nano-caractérisation par les modes électriques de l'AFM : du matériau au composant. 24éme Forum des microscopies à sonde locale 2023, Apr 2023, Obernai, France. ⟨hal-04149653⟩